中部電力のソリューションは、電気の力を生かしてカスタムメイドでビジネスをサポートします。
クリーンルームの大型化、プロセスの高度化・複雑化によりエネルギー消費が増大する半導体製造。地球温暖化防止のため業界全体でCO2削減に向けての取り組みが求められています。
快適な文明生活を支える電子部品や半導体技術。ウェハー大口径化や微細化など半導体生産の高度技術化に伴い、瞬時電圧低下などエネルギーの品質が製品の品質や生産の歩留まりに及ぼす影響は、ますます大きくなっています。高品質生産に不可欠な高品質エネルギーの確保をご提案します。
薬液の代替とし てオゾン発生器を使用することで、工場のコスト削減につながります。
製造ラインの大型化や微細加工など技術の高度化が要求される半導体工場のプロセス冷却には、チルドタワーが最適です。クーリングタワーとチラーとの組み合わせにより、効率的な運転を実現。省エネに大きく貢献します。
